مع استمرار جائحة كوفيد-19 واستمرار ارتفاع الطلب على الرقائق في قطاعات تتراوح من معدات الاتصالات إلى الإلكترونيات الاستهلاكية إلى السيارات، يتزايد النقص العالمي في الرقائق.
تعد الرقائق جزءًا أساسيًا مهمًا من صناعة تكنولوجيا المعلومات، ولكنها أيضًا صناعة رئيسية تؤثر على مجال التكنولوجيا الفائقة بأكمله.
يعد صنع شريحة واحدة عملية معقدة تتضمن آلاف الخطوات، وكل مرحلة من العملية محفوفة بالصعوبات، بما في ذلك درجات الحرارة القصوى، والتعرض للمواد الكيميائية شديدة التدخل، ومتطلبات النظافة الشديدة. يلعب البلاستيك دورًا مهمًا في عملية تصنيع أشباه الموصلات، ويستخدم البلاستيك المضاد للكهرباء الساكنة، PP، ABS، PC، PPS، مواد الفلور، PEEK والمواد البلاستيكية الأخرى على نطاق واسع في عملية تصنيع أشباه الموصلات. سنلقي اليوم نظرة على بعض التطبيقات التي تقدمها PEEK في أشباه الموصلات.
يعد الطحن الميكانيكي الكيميائي (CMP) مرحلة مهمة في عملية تصنيع أشباه الموصلات، الأمر الذي يتطلب مراقبة صارمة للعملية وتنظيم صارم لشكل السطح والسطح عالي الجودة. ويطرح اتجاه تطوير التصغير متطلبات أعلى لأداء العملية، وبالتالي فإن متطلبات أداء الحلقة الثابتة CMP أصبحت أعلى وأعلى.
يتم استخدام حلقة CMP لتثبيت الرقاقة في مكانها أثناء عملية الطحن. يجب أن تتجنب المادة المختارة الخدوش والتلوث على سطح الرقاقة. عادة ما تكون مصنوعة من PPS القياسي.
تتميز PEEK بثبات الأبعاد العالي، وسهولة المعالجة، والخصائص الميكانيكية الجيدة، والمقاومة الكيميائية، ومقاومة التآكل الجيدة. بالمقارنة مع حلقة PPS، فإن الحلقة الثابتة CMP المصنوعة من PEEK تتمتع بمقاومة أكبر للتآكل وعمر خدمة مزدوج، وبالتالي تقليل وقت التوقف عن العمل وتحسين إنتاجية الرقاقة.
يعد تصنيع الرقاقات عملية معقدة ومتطلبة تتطلب استخدام مركبات لحماية الرقاقات ونقلها وتخزينها، مثل صناديق نقل الرقاقات المفتوحة الأمامية (FOUPs) وسلال الرقاقات. تنقسم ناقلات أشباه الموصلات إلى عمليات نقل عامة وعمليات حمضية وقاعدية. يمكن أن تؤدي التغيرات في درجات الحرارة أثناء عمليات التسخين والتبريد وعمليات المعالجة الكيميائية إلى تغيرات في حجم حاملات الرقاقة، مما يؤدي إلى خدوش أو تشققات في الرقاقة.
يمكن استخدام PEEK لصنع مركبات لعمليات النقل العامة. يتم استخدام PEEK المضاد للكهرباء الساكنة (PEEK ESD) بشكل شائع. يتمتع PEEK ESD بالعديد من الخصائص الممتازة، بما في ذلك مقاومة التآكل، والمقاومة الكيميائية، واستقرار الأبعاد، وخاصية مقاومة الكهرباء الساكنة وانخفاض الغازات، مما يساعد على منع تلوث الجسيمات وتحسين موثوقية معالجة الرقاقة وتخزينها ونقلها. تحسين استقرار أداء صندوق نقل الويفر المفتوح الأمامي (FOUP) وسلة الزهور.
علبة قناع شاملة
يجب أن تظل عملية الطباعة الحجرية المستخدمة للقناع الرسومي نظيفة، وأن تلتصق بغطاء خفيف لأي غبار أو خدوش في تدهور جودة التصوير المسقط، وبالتالي، يجب على القناع، سواء في التصنيع أو المعالجة أو الشحن أو النقل أو عملية التخزين، تجنب تلوث القناع و تأثير الجسيمات بسبب نظافة قناع الاصطدام والاحتكاك. مع بدء صناعة أشباه الموصلات في تقديم تقنية التظليل بالأشعة فوق البنفسجية القصوى (EUV)، أصبحت متطلبات الحفاظ على أقنعة الأشعة فوق البنفسجية خالية من العيوب أعلى من أي وقت مضى.
نظرة خاطفة ESD التفريغ مع صلابة عالية، جزيئات صغيرة، نظافة عالية، الاستاتيكيه، مقاومة التآكل الكيميائي، مقاومة التآكل، مقاومة التحلل المائي، قوة عازلة ممتازة ومقاومة ممتازة لميزات أداء الإشعاع، في عملية الإنتاج ونقل ومعالجة القناع، يمكن أن تجعل ورقة القناع مخزنة في بيئة منخفضة التفريغ والتلوث الأيوني المنخفض.
اختبار الرقاقة
تتميز PEEK بمقاومة ممتازة لدرجات الحرارة العالية، واستقرار الأبعاد، وانخفاض إطلاق الغاز، وانخفاض تساقط الجسيمات، ومقاومة التآكل الكيميائي، وسهولة التصنيع، ويمكن استخدامها لاختبار الرقائق، بما في ذلك لوحات المصفوفة ذات درجة الحرارة العالية، وفتحات الاختبار، ولوحات الدوائر المرنة، وخزانات الاختبار المسبقة ، والموصلات.
بالإضافة إلى ذلك، مع زيادة الوعي البيئي بشأن الحفاظ على الطاقة وخفض الانبعاثات وتقليل التلوث البلاستيكي، تدعو صناعة أشباه الموصلات إلى التصنيع الأخضر، خاصة أن الطلب في سوق الرقائق قوي، ويحتاج إنتاج الرقائق إلى صناديق الرقاقات والطلب على المكونات الأخرى بشكل ضخم، والضرر البيئي لا يمكن الاستهانة بالتأثير.
لذلك، تقوم صناعة أشباه الموصلات بتنظيف وإعادة تدوير صناديق الويفر لتقليل هدر الموارد.
تتمتع PEEK بأقل قدر من فقدان الأداء بعد التسخين المتكرر وهي قابلة لإعادة التدوير بنسبة 100%.
وقت النشر: 19-10-21